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半导体制造过程中设备通信的高级概述

article 2024/9/29 17:12:22

在半导体行业中，制造过程是一个复杂的过程，涉及多个步骤才能达到预期结果。每个工艺步骤都使用不同类型的设备。半导体行业设备使用一种特定类型的通信协议，称为 SECS/GEM（SEMI 设备通信标准和通用设备模型）。

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http://www.kler.cn/news/324868.html

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