盖泽 寻边器 帮助类
EA系列 Aligner晶圆校准器
晶圆校准器是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置,通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置,以确保晶圆的位置及方向,方便后续工艺的进行。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段,可集成至各类半导体设备中使用。
通讯方式
串口
一、常用功能
1.寻边器回零(找零)
2.寻边准备
3.吸附
4.校准位--旋转
5.开始寻边
6.移动到下料位
7.释放,放开,松开
8.清除错误(复位)
二、实现代码
/// <summary>
/// 盖泽 寻边器 帮助类
/// </summary>
public class AlignerHelper
{
//高泽寻边器使用说明:
//国产命令 Gazer 寻边器指令
/// <summary>
/// 寻边器回零(找零)
/// </summary>
public static string GZ_ORIG = "#