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盖泽 寻边器 帮助类

EA系列 Aligner晶圆校准器

晶圆校准器是一种应用于晶圆加工中的晶圆预对准装置,通过利用晶圆上的缺口(notch)将晶圆调整至预设位置,以确保晶圆的位置及方向,方便后续工艺的进行。产品广泛应用于半导体制造过程中的各个阶段,可集成至各类半导体设备中使用。

通讯方式

        串口

一、常用功能

        1.寻边器回零(找零)

        2.寻边准备

        3.吸附

        4.校准位--旋转

        5.开始寻边

        6.移动到下料位

        7.释放,放开,松开

        8.清除错误(复位)

二、实现代码

/// <summary>
    /// 盖泽 寻边器 帮助类
    /// </summary>
    public class AlignerHelper
    {
        //高泽寻边器使用说明:

        //国产命令 Gazer 寻边器指令
        /// <summary>
        /// 寻边器回零(找零)
        /// </summary>
        public static string GZ_ORIG = "#

http://www.kler.cn/a/599449.html

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